Wir bieten komplette Systeme zur Überwachung von Beschichtungsprozessen (z. B. Atomic Layer Deposition – ALD) mittels Schwingquarzmesstechnik (engl. Quartz Crystal Microbalance – QCM) sowie einzelne Komponenten zur Ergänzung bestehender Schwingquarz-Messgeräte an.
Die Grundlage der Messsysteme bilden die QCM-Messköpfe, die entweder flexibel einsetzbar oder für eine spezifische Beschichtungskammern optimiert ausgeführt sein können. Dabei können Messköpfe zum Einsatz kommen, die die gleiche Form wie die zu beschichtenden Substrate haben (beispielsweise QCM-Wafer als Ersatz für Siliziumwafer beliebiger Größe) und diese im Prozess ersetzen, wodurch neue Prozesse detailliert und schnell entwickelt und charakterisiert werden können. Andere Messköpfe hingegen können zusammen mit den eigentlichen Substraten verwendet und beschichtet werden und ermöglichen so die Überwachung und Kontrolle von produktiven Prozessen.
Die für die Messung notwendigen elektrischen Signale werden durch hochtemperaturfeste, geschirmte Koaxialkabel geleitet, die die einzelnen Sensoren in der Beschichtungsanlage mit den externen Messgeräten verbinden.
Die firmeneigene Software „QCM-Monitor“ wird zur Ansteuerung der Messgeräte verwendet. „QCM-Monitor“ ermöglicht das Anzeigen und Aufzeichnen der gemessenen QCM-Frequenzen und somit des Schichtwachstums in Echtzeit und kompensiert den Einfluss von Temperaturänderungen auf die gemessenen Frequenzen, in dem die Signale von paarweise angeordneten Sensoren miteinander verrechnet werden.
Schwingquarzmessköpfe für ALD-Anlagen
Für verschiedene kommerziell verfügbare ALD-Anlagen (z. B. Picosun R-200 Advanced, Beneq TFS 500 oder Oxford Instruments FlexAL) gibt es bereits optimierte QCM-Messköpfe, die dauerhaft in die Beschichtungsanlagen integriert werden können. Darüber hinaus bieten wir Schwingquarzmessköpfe in Form flacher Scheiben an, die als QCM-Wafer ähnlich einem Silicium-Wafer temporär oder permanent in den Prozesskammern positioniert werden können (siehe Abbildung). Bitte kontaktieren Sie uns, wenn Sie Fragen zur allgemeinen Machbarkeit oder zu konkreten kunden- und anlagenspezifischen Lösungen und Konzepten haben.
